Большая советская энциклопедия - гибридная интегральная схема

Гибридная интегральная схема, гибридная микросхема, интегральная схема, в которой наряду с элементами, неразъемно связанными на поверхности или в объеме подложки, используются навесные микроминиатюрные элементы (транзисторы, полупроводниковые диоды, катушки индуктивности и др.). В зависимости от метода изготовления неразъемно связанных элементов различают гибридные пленочную и полупроводниковую интегральные схемы. Резисторы, конденсаторы, контактные площадки и электрические проводники в Г. и. с. изготовляют либо последовательным напылением на подложку различных материалов в вакуумных установках (метод напыления через маски, метод фотолитографии), либо нанесением их в виде пленок (химические способы, метод шелкографии и др.). Навесные элементы крепят на одной подложке с. пленочными элементами, а их выводы присоединяют к соответствующим контактным площадкам пайкой или сваркой. Г. и. с.., как правило, помещают в корпус и герметизируют. Применение Г. и. с. в электронной аппаратуре повышает ее надежность, уменьшает габариты и массу. И. Е. Ефимов.